艾里卡特MCE系列質(zhì)量流量控制器集成于的真空設(shè)備供應(yīng)商MDC Vacuum Products, LLC公司的XpressStick™系列質(zhì)量流量控制器氣體棒中。能精密控制氣體流量上至20SLPM、自帶屏幕顯示的MCE系列質(zhì)量流量控制器使得氣體連接模塊帶有氣體編輯程序功能，從而直接將壓縮氣體通入真空腔體內(nèi)。
艾里卡特MCE系列質(zhì)量流量控制器的測(cè)量與控制量程范圍從0-0.5 sccm一直到0-20 slpm，僅需20～50毫秒即可到達(dá)設(shè)定值流量，有效消除了于真空鍍膜過(guò)程中的靶材中毒。
一體式設(shè)計(jì)的XpressStick質(zhì)量流量控制器氣體棒消除了原本包括氣體混合、壓力控制、精密調(diào)節(jié)、真空腔等復(fù)雜的硬件系統(tǒng)，其精密的氣體流量控制系統(tǒng)使得用戶完成全套真空鍍膜過(guò)程只需簡(jiǎn)單的一個(gè)步驟。專門設(shè)計(jì)用于高純真空應(yīng)用的XpressStick質(zhì)量流量控制器氣體棒也有適用于腐蝕性氣體的不銹鋼材質(zhì)系列。
艾里卡特MCE系列質(zhì)量流量控制器無(wú)需預(yù)熱、瞬間啟動(dòng)的特點(diǎn)使得XpressStick在短短一秒鐘內(nèi)就能開始控制真空鍍膜過(guò)程系統(tǒng)的流量，實(shí)時(shí)測(cè)量顯示質(zhì)量流量、體積流量、壓力和溫度參數(shù)，并將運(yùn)用溫度與壓力對(duì)流量參數(shù)進(jìn)行充分補(bǔ)充。氣體模塊程序直接通過(guò)艾里卡特MCE系列質(zhì)量流量控制器自帶的屏幕顯示，并可直接通過(guò)屏幕按鈕操作切換氣體種類。
MDC Vacuum Products, LLC公司副總裁James Moore表示：“控制響應(yīng)速度快、度高、性能可靠是我們選擇質(zhì)量流量控制器合作品牌的關(guān)鍵因素。根據(jù)過(guò)往使用Alicat質(zhì)量流量控制器的經(jīng)驗(yàn)，我們十分確定Alicat能全部滿足以上三點(diǎn)因素，并且Alicat質(zhì)量流量控制器自帶屏幕顯示，方便于我們的一體化設(shè)計(jì)。”
艾里卡特質(zhì)量流量控制器、壓力控制器、真空氣體流量控制器廣泛應(yīng)用于真空鍍膜領(lǐng)域。
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